测量量程:5.0×10⁻² Pa ~ 1.0×10⁵ Pa(覆盖大气压~低真空全区间)
精度指标
常规区间 0.1~10⁴ Pa:±2% 重复精度
极限低压 / 大气压两端:±20%
响应速度:50ms 采样,5 次移动平均滤波,数值稳定无抖动
灯丝材质:铂 Pt 灯丝,耐腐蚀,适配干燥空气、氮气等工艺气体
气体特性:皮拉尼原理,不同气体读数存在偏差,标准校准以干燥空气为准
半导体、FPD、光伏镀膜 / 溅射设备腔体真空监测
真空热处理炉、钎焊炉低真空工艺监控
真空包装、脱泡机、真空吸附平台压力联锁
Orientalmotor东方马达BLH015/BLH230电机连接电缆CC02BLH 俎15655134803
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